一、概述
    因?yàn)闇u輪分子泵的級(jí)作業(yè)壓力較低 (10-1 ～ 1Pa) ，當(dāng)僅用機(jī)械泵做前級(jí)泵時(shí)違背機(jī)械泵的有用抽速規(guī)模，影響系統(tǒng)的抽氣作用。此外，因?yàn)闇u輪分子泵前級(jí)壓力低，前級(jí)泵油和分子泵本身軸承潤(rùn)滑油的蒸氣返流率影響了分子泵進(jìn)口的清洗程度。在某些范疇中 ( 如半導(dǎo)體、等離子體刻蝕等 ) ，渦輪分子泵滿意不了即要求高的本底真空，又需求在作業(yè)真空度規(guī)模內(nèi)具有較大的抽速和杰出的清洗條件的需求。這些都要求進(jìn)步渦輪分子泵的前級(jí)壓力和較高進(jìn)口壓力下的抽速，以習(xí)慣更多范疇的需求。所以大家經(jīng)過(guò)對(duì)渦輪分子泵和牽引分子泵的不斷研討改善，使用兩種分子泵的各自長(zhǎng)處，將兩者聯(lián)系，提出了復(fù)合分子泵。 70 時(shí)代初，法國(guó)的 Alcatle 公司主要研制成功 MODEL 型復(fù)合式分子泵。關(guān)于復(fù)合分子泵，國(guó)內(nèi)也進(jìn)行了許多研討。于 80 時(shí)代末及 90 時(shí)代初，中科院北京真空物理實(shí)驗(yàn)室和東北大學(xué)相繼研制出渦輪一盤(pán)式復(fù)合分子泵和渦輪—筒式復(fù)合分子泵。
二、復(fù)合式分子泵的構(gòu)造特點(diǎn)
    復(fù)合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯(lián)組合，集兩種泵的長(zhǎng)處于一體。泵在很寬的壓力規(guī)模內(nèi) ((10-6 ～ 1Pa) 具有較大的抽速和較高的壓縮比，大大進(jìn)步了泵的出口壓力。法國(guó) Alcatle 公司出產(chǎn)的一種選用氣體靜壓軸承和動(dòng)密封的復(fù)合分子泵，能夠做到完全無(wú)油，且不必前級(jí)泵直接向大氣中排氣。
復(fù)合式分子泵的方法許多，按構(gòu)造分，主要有兩種：一種是渦輪葉片與盤(pán)式牽引泵的串聯(lián)組合；另一種是渦輪葉片與筒式牽引泵的串聯(lián)組合。渦輪級(jí)主要用來(lái)進(jìn)步泵的抽速，通常選用有利于進(jìn)步抽速的葉片形狀，級(jí)數(shù)在 l0 級(jí)以內(nèi)。牽引級(jí)主要用來(lái)添加泵的壓縮比，進(jìn)步泵的出口壓力。
    盤(pán)式牽引級(jí)是在平板圓盤(pán)平面上按必定規(guī)則開(kāi)出數(shù)條型線溝槽，然后將數(shù)塊圓盤(pán)串接起來(lái)構(gòu)成，型線有阿基米德螺線、對(duì)數(shù)螺線、圓弧線等。抽氣時(shí)靠高速滾動(dòng)的圓盤(pán)對(duì)氣體分子進(jìn)行“拖動(dòng)”，使其沿溝槽作由內(nèi)向外及由外向內(nèi)的往復(fù)折回的定向活動(dòng)，然后到達(dá)抽氣目的。
    筒式牽引級(jí)是在圓筒形的轉(zhuǎn)子或定子的圓柱面上開(kāi)必定斷面形狀的溝槽，如矩形、圓弧形、三角形及其它形狀的多頭螺旋槽。因?yàn)楹?jiǎn)式牽引泵型線溝槽開(kāi)在轉(zhuǎn)子圓柱外外表或泵體內(nèi)外表上，因而能夠充分使用圓柱外圓較高的線速度對(duì)氣體分子進(jìn)行動(dòng)量傳遞，進(jìn)步泵的抽氣作用。在規(guī)劃制作中，能夠經(jīng)過(guò)改動(dòng)螺旋溝槽通道與抽氣方向之間的夾角 ( 螺旋升角 ) 來(lái)到達(dá)較抱負(fù)的抽氣作用。
    在復(fù)合分子泵的規(guī)劃中，有必要處理好渦輪級(jí)與牽引級(jí)之間的應(yīng)配和聯(lián)接聯(lián)系。因?yàn)闇u輪級(jí)有較大的抽氣面積，抽速很大，而牽引級(jí)溝槽抽氣面積較小，在兩種構(gòu)造的聯(lián)接處，由渦輪葉片壓縮下來(lái)的氣體分子的活動(dòng)方法俄然改變，使氣體分子的運(yùn)動(dòng)在聯(lián)接處由有序成為無(wú)序，至使返流添加，抽氣才能降低。因而，在規(guī)劃時(shí)應(yīng)在渦輪級(jí)和牽引級(jí)變換處加上過(guò)渡級(jí)構(gòu)造，以進(jìn)步泵的抽氣功能。
    隨著復(fù)合分子泵的不斷改善，其應(yīng)用范疇越來(lái)越廣，在某些抽氣系統(tǒng)上能夠代替分散泵，縮短了系統(tǒng)的抽氣時(shí)刻，并可取得無(wú)油污染的清洗真空環(huán)境。